半導體氣體傳感器主要使用半導體氣敏材料，自從1962年半導體金屬氧化物氣體傳感器問世以來由于具有靈敏度高，響應快等特點，得到廣泛的應用，目前已成為上產量大使用廣的傳感器之一，按照檢測氣敏特征量方式不同分為電子式和非電子式兩種。

電阻式半導體傳感器是通過檢測氣敏元件伴隨氣體含量的變化情況而工作的。主要使用金屬氧化物陶瓷材料。這種傳感器的特性和應用比較寬。例如WO3氣體傳感器可檢測NH3的濃度范圍為5PPM—50PPM，ZNO-CUO氣體傳感器對200PPM的CO非常敏感。

非電子式半導體氣體傳感器是利用氣敏元件的電流或電壓隨氣體含量而變化的原理工作的，主要有MOS二極管式和結型二極管式，以及場效應管式氣體傳感器。檢測氣體大多為氫氣，烷類等可燃氣體。